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  • 超低溫制冷劑R14(四氟化碳或者全氟化碳)
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超低溫制冷劑R14(四氟化碳或者全氟化碳)

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廣州超輝制冷材料有限公司
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產(chǎn)品分類
熱銷產(chǎn)品

一、四氟化碳特性

在常溫下,四氟化碳是無色、無臭、不燃的可壓縮性氣體,揮發(fā)性較高,是穩(wěn)定的有機化合物之一,在900℃時,不與銅、鎳、鎢、鉬反應,僅在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時,會分解產(chǎn)生有毒氟化物。


二、四氟化碳特性值

國標編號

22033

CAS號

75-73-0

中文名稱

四氟甲烷

英文名稱

tetrafluoromethane;carbon tetrafluoride

別    名

R14;四氟化碳

分子式

CF4


外觀與性狀

無色無臭氣體

分子量

88.01

蒸汽壓

13.33kPa(15.07℃)

熔    點

-183.6℃ 沸點:-128.0℃

溶解性

不溶于水

密    度

相對密度(水=1)1.61(-130℃)

穩(wěn)定性

穩(wěn)定

危險標記

5(不燃氣體)


主要用途

用作低溫致冷劑及集成電路的等離子干 法蝕刻技術(shù)

三、四氟化碳質(zhì)量標準

項目ITEM

公司標準COMPANY STANDARD

純度CF4%

≥99.9

≥99.99

氮氣(N2)的體積公數(shù)/10-6

≤350

≤40

氧氣(O2)的體積分數(shù)/10-6

≤350

≤20

水分(H2O)的質(zhì)量分數(shù)/10-6

≤5

≤1

一氧化碳(CO)的體積分數(shù)/10-6

≤20

≤10

二氧化碳(CO2)的體積分數(shù)/10-6

≤80

≤10

酸度(以HF計)的質(zhì)量分數(shù)/10-6

≤0.5

≤0.1

其它氟碳化合物(F-)的體積分數(shù)/10-6

實測

≤10

總雜質(zhì)的體積分數(shù)/10-6

≤1000

≤100


四、四氟化碳主要用途

作為低溫制冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術(shù),四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻。在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。四氟化碳的溶氧性好,因此被科學家用于超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功,在275米到366米的深度內(nèi),小白鼠仍可安全脫險。


包裝規(guī)格

可重復充裝鋼瓶(高壓瓶)

10升(7公斤)/瓶

可重復充裝鋼瓶(高壓瓶)

40升(30公斤)/瓶

好評度
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