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  • 地區(qū):浙江 金華
產(chǎn)品分類
熱銷產(chǎn)品
      

四氟甲烷,亦稱四氟化碳、全氟化碳,PFC-14R-14)。分子式:CF4。相對(duì)分子量:88.00。在常溫下,四氟甲烷是無(wú)色、無(wú)臭、不燃,不溶于水的可壓縮性氣體。沸點(diǎn):-128,熔點(diǎn):-183.6。液體密度(-1301.613g/cm3,臨界溫度-45.67,臨界壓力3.74Mpa,蒸氣壓(-150.713.33kPa,介電常數(shù)(25,0.5Mpa1.0006。揮發(fā)性較高,是穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一,在900攝氏度時(shí),不與鋼、鎳、鎢、鉬反應(yīng),僅在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25攝氏度及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時(shí), 會(huì)分解產(chǎn)生有毒氟化物,危險(xiǎn)性類別為第2.2類不燃?xì)怏w。

用途

四氟甲烷是目前微電子工業(yè)中用量的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、超低溫制冷劑、泄漏檢驗(yàn)劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。

好評(píng)度
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